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高真空角阀
此系列阀门采用气动驱动方式，动作平稳、运行可靠。具有密封性能好和寿命长等优点，是半导体设备上最常见的阀门类型之一。主要应用于对真空系统的隔断及充气和排气。
重量轻，结构紧凑。
体积小，流量大。
常闭结构，弹簧在断气或断电时都能自动实现密封。
100%通过氦检漏测试。
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