工艺过程装备

FJ 系列多抽口分子泵机组主要配置--FJ1600G分子泵机组
◆ 可配置多种真空接口,便于拓展;
◆ 可配置成无油真空系统;
◆ 抽速稳定,可用于多种工况;
◆ 可单独移动,方便操作;
◆ 具有手动、自动功能。

性能指标

型号

机组稳定抽速(L/S)

空载极限真空(Pa)

分子泵型号

前级泵

机组尺寸(mm,不含罗茨泵)

FJ1500

1500

9×10-5

F-250/1500

干泵或旋片泵(可配罗茨泵)

1000×600×1500



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